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PEM气体控制系统

作者：澳门新葡萄新京SMEE 来源：澳门新葡萄新京SMEE 发布时间：2019-04-10 浏览量：

通过等离子体发射光谱监测来控制气体流量和电压，控制优化反应溅射的状态，从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。

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